大基金靶材，顾名思义，是指由国家大基金投资研发的靶材。大基金，即国家集成电路产业投资基金，是国家重点扶持集成电路产业发展的战略性投资基金。靶材是大规模集成电路（IC）芯片制造过程中至关重要的原材料，其质量直接影响芯片的性能和良率。大基金靶材瞄准了高端靶材这一关键领域，旨在打破国外垄断，提升我国集成电路产业链的自主可控能力。

一、靶材：集成电路制造的基石

靶材是一种特殊的金属或陶瓷材料，在芯片制造过程中被溅射到硅晶片上，形成芯片的导电层、绝缘层等结构。靶材的纯度、均匀性、晶体结构等指标直接影响着芯片的性能和良率。靶材是集成电路制造的关键原材料之一，被称为集成电路制造的基石。

二、大基金靶材：补齐国产材料短板

目前，我国的靶材市场主要被国外企业占据。国外靶材厂商技术领先，市场份额较高，国内企业在高端靶材领域发展缓慢，对国外依赖较大。这种局面制约了我国集成电路产业的发展，也给国家安全带来隐患。

大基金靶材的研发旨在打破国外垄断，补齐我国高端靶材材料的短板。大基金通过投资研发，支持国内企业突破关键技术，提升靶材品质，逐步实现国产靶材替代进口。

三、大基金靶材的进展

大基金靶材研发已取得一系列进展。例如：

• 京东方投资建设的靶材生产线已经投产，成为国内首条高端ITO靶材生产线。
• 上海新阳半导体成功研制出国内首款符合国际标准的高纯度钨靶材。
• 天津中环半导体研制出具有自主知识产权的氮化镓靶材，填补了国内空白。

这些进展表明，我国大基金靶材的研发正在不断取得突破，为国产化替代奠定了基础。

大基金靶材是国家扶持集成电路产业发展的重大战略举措。通过投资研发，大基金靶材打破了国外垄断，补齐了国产材料短板，为我国集成电路产业自主可控发展提供了坚实的基础。随着大基金靶材的不断进展，我国集成电路产业将逐步摆脱对国外依赖，迈向更加安全、可控的未来。